美国Nova Centrix公司在“第21届FPD研发及制造技术展览会暨研讨会”(FINETECHJAPAN,2011年4月13~15日)上,展出了可通过印刷[百科 微博]技术形成铜(Cu)布线的导电性油墨。除了在与合作伙伴日本昭和电工的共同展区中展示导电性油墨外,Nova Centrix还向观众赠送了使用这种油墨通过印刷技术在纸上形成的Cu图案。
导电性油墨是将CuO分布在溶剂里形成的水溶性油墨。Nova Centrix在展示中展出了用于丝网印刷的“Metalon ICI-020”,以及用于压电式喷墨印刷的“Metalon ICI-003”。采用导电性油墨印刷形成CuO图案后,通过Nova Centrix的光烧结装置“Pulse Forge”进行处理,由此获得Cu图案。据Nova Centrix介绍,关于光烧结后的Cu图案薄膜的电阻值,Metalon ICI-020可降至60mΩ/□左右,Metalon ICI-003可降至140mΩ/□左右。光烧结处理过程中的工艺温度较低,因此可使用纸和PET制作的基板。
用于丝网印刷的油墨Metalon ICI-020,CuO浓度为52.5重量%,用于喷墨印刷的Metalon ICI-003则为10重量%。
[时间:2011-04-21 来源:中国钛白网]